ASML er førende inden for fotolitografisystemer, der bruges til at fremstille halvledere. Fotolitografi er processen, hvor en lyskilde bruges til at overføre kredsløbsmønstre fra en fotomaske til en halvlederwafer. De nyeste teknologiske fremskridt i denne sektor gør det muligt for chipproducenter at øge antallet af transistorer på samme område af silicium, hvor litografi historisk set udgør en stor del af omkostningerne for at lave avancerede chips. ASML outsourcer fremstillingen af de fleste af sine dele og fungerer som en montør. ASML's hovedkunder er TSMC, Samsung og Intel.